...多层布线结构,理论上现已达到11层线;自集成电路 问世以来,集成度不断提高,现正迈向巨大规模集成(Giga Scale Integration-GSl),集成度的提高使 IC进入系统集成或片上系统(SoC)的时代。减小特征尺寸是提高集成度、改进器件性能的关键。
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巨大规模集成电路 Gigantic Scale IC
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巨大规模集成
Massive scale integration
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随着大规模集成电路的出现，电子工业在1960年代取得了巨大的进展。
The 1960s saw the great advance in electronics industry with the emergence of the large-scale integrated circuits.
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