...改掩模图形——每个对象上设置了光强控制点，计算这些控制点的光 强并与光刻阈值比较，就得到边缘位置误差（Edge PlacememError，EPE）， 进而根据EPE决定决定这些对象移动的方向和距离。
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...图形——每个对象上设置了光强控制点，计算这些控制点的光 强并与光刻阈值比较，就得到边缘位置误差（Edge PlacememError，EPE）， 进而根据EPE决定决定这些对象移动的方向和距离。
就得到边缘位置误差
Then the edge position error is obtained
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