在本研究中成功地利用 射频磁控溅镀系统 ( radio-frequency sputtering system )成长出与基板垂直的奈米碳片(carbon nanoflakes),与以往CVD系统成长奈米碳片做比较,本实验所使用的功率以及温度较低(400 ℃, ...
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射频磁控溅镀系统
Radio-frequency magnetic control sputtering system
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