... wafer cassette晶圆匣 x-ray lithography X射线光刻技术，X射线平印术 yoke磁头组 ...
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射线光刻技术
Ray lithography technology
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提出了用于提高X射线光刻对准系统自动对准效率和对准精度的图像边缘增强技术，并进行了数值分析。
The image edge-enhanced technique was proposed to improve the automatic aligning efficiency and aligning accuracy in the X-ray lithography aligning system, and the numerical analysis was given.
youdao
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