制备富硅氮化物（SRSN）和富硅的氧化物（SRSO），其中包括硅的氮化物和硅的氧化物，分别嵌入在纳米硅，通过反应性的超高真空离子束溅射沉积，紧接着由高温退火。
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富硅的氧化物
Silicon-rich oxides
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通过对XPS图的分析得到硅氧的原子比大约是1：1，这个结果表明对薄膜进行退火后氧化硅薄膜是富硅氧化物。
Analysis by XPS graph obtained silicon atom ratio of oxygen is about 1:1, the results showed that the films were annealed silicon oxide film is rich silicon oxide.
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