enclosed vessel
... •Robot operation •Alarm • • Plug Flow (Enclosed-Vessel Cleaning System)原理– 将晶圆置于密闭单容器(Enclosed Vessel)内，依设定 的Recipe，通入不同的化学洗净溶液，至容器内，经 DI纯水洗濯残留酸碱液，再通入IPA将晶圆干燥 •废液处理因难 •受限...
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