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宽频光谱椭圆偏光法

网络释义

  Broadband pectroscopic Ellipsometry

...-Tencor 领先业界的SpectraFx 200技术为基础,主要采用新一代宽频光谱椭圆偏光法(BBSE,Broadband pectroscopic Ellipsometry)光学元件,在测量精度、机台匹配及稳定性能等方面均有显著改善,此技术让芯片制造商能够验证和控制先进薄膜...

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有道翻译

宽频光谱椭圆偏光法

Broad-band spectral elliptic polarization method

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