Broadband Spectroscopic Ellipsometry
...0系统以该公司领先业界的SpectraFx 200技术为基础，主要采用下一代宽带光谱椭圆偏光法（Broadband Spectroscopic Ellipsometry，BBSE）光学元件，在精密度、匹配度及稳定性等方面匀有显著改善。
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...以该公司领先业界的SpectraFx 200技术为基础，主要采用下一代宽带光谱椭圆偏光法（Broadband Spectroscopic Ellipsometry，BBSE）光学元件，在精密度、匹配度及稳定性等方面匀有显著改善。
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