孪生磁控溅射靶( Twin Mag)的装置结构示意图如图1所示。中频电源的两个输出端是与孪生靶相连,两个磁控靶交替地互为阴极、阳极,即当其中有一个磁控靶处于负...
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孪生磁控溅射靶
Twin magnetron sputtering targets
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