...纳 193 浸没式微影技术 (immersion lithography) 于重要的金属层,并搭配 193 奈米或者 248 奈米干式微影技术 (dry lithography) 于非重要的金属层,措置惩罚器接纳 9 层 Copper layers 及 low-k 内部保持层 (interconnect layers) ,并接纳无铅以及无卤素封装...
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奈米干式微影技术
Nanodry micrography
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