(3) 整合本校原子力/侧向力显微镜(AFM/LFM)、奈米刮痕(Nano scratch)与奈米磨耗(Nano wear)装置所具有之功能制作微/奈米流道，可作教学、技术训练及研发。
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奈米刮痕
Nano scratches
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