德国KSI公司的超声波扫描显微镜（扫描频率最高可以达到2G）。 其主要是针对半导体器件 ,芯片，材料内部的失效分析。其可以检查到：1。材料内部的晶格结构，杂质颗粒，夹杂物，沉淀物，2. 内部裂纹。 3.分层缺陷。4.空洞，气泡，空隙等。
声扫描显微镜(Scanning acoustic microscope) 进行物体无损、高倍率检查。其典型应用是样品器件底部填充空洞检查、分析，特别是filp-chip器件。
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扫描声学显微镜 scanning acoustic microscope ; SAM ; C-SAM ; SAM-Scanning Acoustic Microscope
扫描电声显微镜 SEAM ; Scanning Electron Acoustic Microscope
扫描声波显微镜 scanning acoustic microscope
超声波扫描显微镜 Acoustic Microscopes
场脉冲扫描声学显微镜 WFPSAM
声学扫描显微镜 scanning acoustic microscope
扫描声速显微镜 scanning acoustic micr oscope
光扫描-声学显微镜 scanning photo-acoustic microscopy
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