定义 中文名称： 基底硅片 英文名称： base wafer 定义： 硅基半导体材料的支撑硅。 应用学科： 材料科学技术（一级学科）； 半导体材料（二级学科）； 硅基半导体材料（二级学科） 以上内容由 全国科学技
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基底硅片
Substrate silicon wafer
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