...过在一光波导的一部分上设置一含金属的条(优选地，为硅化物)，一种硅基红外(IR)光检测器被形成在硅绝缘体(silicon-on-insulator，SOI)结构内，其中所述光波导形成在所述SOI结构的一个平面硅表层(即，″平面SOI层″)内，所述平面SOI...
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...一光波导的一部分上设置一含金属的条(优选地，为硅化物)，一种硅基红外(IR)光检测器被形成在硅绝缘体(silicon-on-insulator，SOI)结构内，其中所述光波导形成在所述SOI结构的一个平面硅表层(即，″平面SOI层″)内，所述平面SOI...
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