近年来的研究表明,在直拉单晶硅(Czochralski silicon,CZ-Si)中掺氮可以用于调控原生氧沉淀和空洞型缺陷,同时,掺氮直拉单晶硅(NCZ-Si)中的缺陷也得到了深入的...
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在直拉单晶硅
Monocrystalline silicon in Czochra
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