high-temperature oxidation
...m photo resist] 本发明涉及一种集成电路制造中防止光致抗蚀剂(photo resist) 在新鲜高温氧化表面(high-temperature oxidation,HTO)发生翘曲的..
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...oto resist] 本发明涉及一种集成电路制造中防止光致抗蚀剂(photo resist) 在新鲜高温氧化表面(high-temperature oxidation,HTO)发生翘曲的..
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