...料科学、表面科学、薄膜科学等领域的研究人员也开始了这方面的研究工作，1988年在美国召开了第一届国际真空微电子学会议（IVMC），随后每年一届在世界各地轮流召开。
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国际真空微电子学会议
International Conference on Vacuum Microelectronics
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