...半民研究机构德国弗朗霍夫学会（Fraunhofer-Gesellschaft）和德 国美因兹微技术研究所（Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH，IMM）等。其中，包括MEMS在内的微电子研究开发正以柏林和慕尼黑（IZM）为中心来展开。
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...究机构德国弗朗霍夫学会（Fraunhofer-Gesellschaft）和德 国美因兹微技术研究所（Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH，IMM）等。其中，包括MEMS在内的微电子研究开发正以柏林和慕尼黑（IZM）为中心来展开。
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