我们研究了固相外延再生长（SPER）植入[31P +，11B +（73Ge + preamorphized）]非晶形硅在温度范围500-600℃下诱导通过快速热退火（RTA），用卢瑟福背散射（RBS）和...
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固相外延再生长
Solid-phase epitaxial regrowth
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