答：半导体固态压阻式传感器(solid-state piezoresistive sensor)具有高灵敏度、高分辨率、体积小、工作频带宽、测量电路可与敏感部分一体化等优点，且随着半导体制造工艺和技术的不断完善和提高...
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固态压阻式传感器
Solid-state piezoresistive sensor
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介绍了热线式、超声波式、硅压阻固态正交式三类测风传感器，并对这三类测风传感器的性能进行了比较。
This paper introduces hot wire, ultrasonic and silicon piezoresistive solid orthogonal wind sensors, and compares the performance of the three wind sensors.
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