喷雾干燥法烟气脱硫又称为半干法洗涤脱硫。是在70年代中期至末期迅速发展起来的。在该过程中，SO2被雾化了的Ca(OH)2浆液或Na2CO3溶液吸收;同时,温度较高的烟气干燥了液滴,形成干固体废物,可由袋式除尘器或电除尘器捕集.为了有效地去除SO2,喷雾干燥接触室、烟气气流分布装置和雾化器是最重要的构件。接触室必须为烟气与雾滴提供足够的时间。大部分石灰系统，烟气停留时间为10-12s。气流分布装置和雾化器要能够使烟气和雾化的液滴充分混合，以有助于烟气与液滴间质量和热量传递。影响SO2去除率的因素包括烟气出口温度接近绝热饱和温度的程度、吸收剂当量比以及SO2入口浓度。大部分喷雾干燥吸收器在绝热饱和温度之上11-28℃操作。该工艺操作简单，可使用碳钢作为结构材料，不存在微量金属污染的废水，减少了烟气重新加热系统。脱硫系统的烟气压力降适中，吸收液输送量小，系统能耗较低。目前主要用于含硫2.5%以下的煤。