项目详细信息 ： 在微型机电系统（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）和计算机磁记录系统（Magnetic Storage System, MRS）中，硅材料的应用日益受到重视。本研究采用低能离子注入、电子束及光子束轰击及沉积纳米类金刚石薄膜的方法
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项目详细信息 ： 在微型机电系统（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）和计算机磁记录系统（Magnetic Storage System, MRS）中，硅材料的应用日益受到重视。本研究采用低能离子注入、电子束及光子束轰击及沉积纳米类金刚石薄膜的方法
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