... 体技术蹄线中，迁有倾斜基底沉积技术（1nclined Substrate叩sition，ISD）口1和表面氧化外延技术（Surface Oxidation Epitaxy，SOE）191等路线，｛H是随着研究的进展．ISD和SOE方面的研究己逐渐苔缩。在这里就不再详细介绍了。
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和表面氧化外延技术
And surface oxidation epitaxy technology
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