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网络释义专业释义

  [电子] isotropic etching

定义 中文名称: 各向同性刻蚀 英文名称: isotropic etching 定义: 通常是指不同的结晶学平面呈现出相同腐蚀速率的腐蚀方法。 应用学科: 材料科学技术(一级学科); 半导体材料(二级学科);元素半导体材料(二级学科

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短语

各向同性蚀刻 isotropic etching

  • isotropic etching - 引用次数:2

    参考来源 - 硅各向同性深刻蚀中的多层掩模工艺
  • isotropic etching

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