isotropic etching
定义 中文名称: 各向同性刻蚀 英文名称: isotropic etching 定义: 通常是指不同的结晶学平面呈现出相同腐蚀速率的腐蚀方法。 应用学科: 材料科学技术(一级学科); 半导体材料(二级学科);元素半导体材料(二级学科
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各向同性蚀刻 isotropic etching
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