可动离子电荷-指二氧化硅中可动的电离正离子电荷。绝大多数为金属离子电荷和氢正离子。 可动离子电荷绝大多数为金属正离子电荷；由于多种原因最重要的可动离子电荷是钠离子；可动钠离子的来源是非常广泛的（器件制造中的设备沾污；所用气体、化学试剂、器皿、去离子水的纯度；操作人员的沾污等）；而可动钠离子电荷在二氧化硅中的分布，是在二氧化硅-硅界面二氧化硅一侧。关于固定氧化物电荷，指出：固定氧化物电荷的分布，是在二氧化硅-硅界面二氧化硅一侧距界面一百埃到二百埃的范围内；固定氧化物电荷的来源是二氧化硅中过剩的硅离子（氧空位）