...n Pump),而采用回旋帮浦(Rotary Pump)与 涡轮分子帮浦 ( Turbo Molecular Pump )之组合,可使成膜室真空腔体(Deposition Chamber)达到约1×10-9torr的最低压力(一般实验可达到7~8×10-9torr的压力).
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可使成膜室真空腔体
Can make the film chamber vacuum chamber
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