...轴定位的压电陶瓷管(x,Y,zPiezo.scanner)、调节针尖一样品间距离的控制器(Controller)、反馈电子线路 (Current circle)以及防震、防噪系统等。其中,前四大系统是该仪器的核心部件。
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反馈电子线路
Feedback electronic circuit
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