反应离子束蚀刻（RIBE）是一种物理化学反应的蚀刻方法。它将 一束反应气体的离子束直接引向工件表面，发生反应后形成一种既易 挥发又易靠离子动能而加工...
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反应离子束蚀刻
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反应离子束刻蚀 RIBE
与反应离子束刻蚀 RIBE
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