协作 中文名称 反应离子刻蚀系统 英文名称 Reactive Ion Etching System 仪器分类 工艺实验设备 - 电子工艺实验设备 - 半导体集成电路工艺实验设备 仪器型号 790-10-RIE-CC 生产厂商 美国 UNAXIS U
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反应离子刻蚀系统
Reactive ion etching system
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新兴的3d互联技术以及高产量的MEMS应用需要成本低廉以及高产量的深层反应离子刻蚀系统。
Emerging 3d interconnection technologies and high volume MEMS applications require cost effective mass production DRIE systems.
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