...子体，使之在沉积室空间内发生反应，并生成薄膜沉积于基体表面，所以 这种方法也被称作反应电弧离子镀（ReactiveArcIon Plating，RAIP）。 阴极靶面上的真空电弧斑点是电子、金属离子、中性原子和熔化液滴的发射源。
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反应电弧离子镀
Reactive arc ion plating
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