目前研制的低k 介质主要有：掺杂氧化物（SiO2）类、氟化的 非晶碳（a-CF）及纳米干凝胶（nanometer xerogels）等。同时，低k 介质材料的引入也需要 和主线工艺进行整合。
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及纳米干凝胶
And nano-dry gel
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