预烤（Hard bake）：又称为蚀刻前烘烤（pre-etch bake），主(__zhu3)要目的为去除水气，增加光阻附着性，尤其在湿蚀刻（wet etching）更为重要(_geng wei zhong yao)，预烤不全长会造成...
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又称为蚀刻前烘烤
Also known as pre-etching baking
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