原子灵敏度因子
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Atomic sensitivity factor
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根据谱仪的探测效率曲线可以对原子灵敏度因子进行定标，这对于XPS定量分析具有很重要的应用价值。
Atomic sensitivity factors can be calibrated by using the curve of detective efficiency. It plays an important role in XPS quantitative analysis.
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