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原子力显微术微影

网络释义

  AFM Lithography

(1)原子力显微术微影AFM lithography) 在目前微影技术中,只有AFM与EBL微影技术在最好条件下能达到奈米级微影线宽度。

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有道翻译

原子力显微术微影

Atomic force microscopy lithography

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