【压电响应力显微镜】

压电响应力显微镜

网络释义

PFM

用XRD,AFM测定了PZT薄膜的相组分与表面结构,并利用压电响应力显微镜(piezoresponse force microscopy,PFM)观察了初始晶化和高度晶化样品自发极化形成的铁电畴.

PiezoresponseForce Microscopy

PZT薄膜晶化过程的相变及铁电畴监测-中国学术期刊网络出版总库同保温时间快速退火处理使其转化为多晶PZT薄膜。用XRD，AFM测定了PZT薄膜的相组分与表面结构，并利用压电响应力显微镜(piezoresponse force microsco-py，PFM)观察了初始晶化和高度晶化样品自发极化形成的铁电畴。结果表明：PZT薄膜晶化发生在550℃，PFM可观

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压电响应力显微镜

Piezoelectric response force microscope

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压电响应力显微镜为铁电薄膜电畴的研究提供了一种有效的检测方法。

The piezoresponse force microscopy(PFM) is a useful method to study ferroelectric domains of ferroelectric films.

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