...寸越来越小，并趋近于曝光系统的理论极限，光刻后硅片表面成像将产生严重的畸变，即产生光学邻近效应(Optical Proximity Effect，OPE)。
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...来越小，并趋近于曝光系统的理论极限，光刻后硅片表面成像将产生严重的畸变，即产生光学邻近效应(Optical Proximity Effect，OPE)。
即产生光学邻近效应
That is, the optical proximity effect is produced
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