zone melting recrystallization
zone melting 区域熔融 zone melting recrystallization 区域熔化再结晶 zone melting without crucible 无坩埚区域熔融 ..
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引入新开发的区域熔化再结晶（ZMR）的装置，用于形成薄膜多晶Si。优良的温度控制在ZMR方法，需要高品质的晶体，形成大面积高均匀度。
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