在5月的SNEC2009展会上,北方微电子(NorthNMC)展出了PECVD设备(注13)。而在此.
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北方微电子
Northern Microelectronics
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北方微电子经过十余年的发展,形成了刻蚀工艺、薄膜工艺、等离子技术、精密机械、自动化及软件、超高真空等核心技术优势,为微电子产业的快速发展提供了值得信赖的产品和服务。秉承科技创新,用户至上的理念,北方微电子正致力于成为一家具有国际影响力的高端装备及工艺解决方案提供商。
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