化学清洗处理（Chemical Cleaning） 从材料表面除去污垢的化学方法。 以工业设备的化学清洗最为复杂。对于新设备主要进行除油、除锈、清洗和钝化处理；而检修后的设备则要进行酸洗，中和防锈和污泥剥离，对于炼油厂和石油化工厂的换热器还须考虑溶剂清洗，以除去有机垢。 所用化学药品如下。 (1)碱洗：氢氧化钠、碳酸钠、磷酸钠等； (2)酸洗：盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸、磷酸、柠檬酸、羟基乙酸、乙二胺四乙酸、EDTA、HEDP等； (3)中和除锈：亚硝酸钠、苯甲酸钠等； (4)污泥剥离：剥离剂和季铵盐等； (5)溶剂清冼：四氯化碳、三氯乙烯等。