electron spectroscopy for chemical analysis(ESCA) ; ESCA
采用化学分析用电子能谱法(ESCA)在器件内测定化学物质随深度变化的浓度。尤其是,测定PZT平滑层中的氧钛比例,从而给出PZT层中氧浓度的变化测定。
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