front opening unified pod
其中的专利技术涉及到FabEX AMHS前端开启式晶圆传送盒（front opening unified pod,FOUP）,传送速度可达3米每秒,另外通过减小振动增加系统可靠性,传送盒可沿曲线或斜坡行进。
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其中的专利技术涉及到FabEX AMHS前端开启式晶圆传送盒（front opening unified pod,FOUP）,传送速度可达3米每秒,另外通过减小振动增加系统可靠性,传送盒可沿曲线或斜坡行进。
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