...m豆丁网 目前 MEMS 中常用的静电型微驱动器主要有：梳状驱动器（Comb Drive Actuator）、刮板式驱动器（Scratch Drive Actuator, SDA）以及静电型微马达等。
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目前MEMS中常用的静电型微驱动器主要有：梳状驱动器（CombDrivActuator）、 刮板式驱动器（ScratchDrive Actuator，SDA）以及静电型微马达等。
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刮板式驱动器
Scraper driver
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