利用电子束蒸镀机(E-gun Evaporator)镀上Ti / Al / Ti / Au 金属，其厚度分别为300 / 1000 / 400 / 1200 A，之后用丙酮 (ACE)将光阻去除以及金属剥离(Lift-off)，接著...
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利用电子束蒸镀机
Using an electron beam evaporation machine
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