院士著作馆 dopants，SOD)做为掺杂剂，利用RTP技术在不同时间、温度和气氛下进行了快速热扩散。处理后，利用四探针法(Four-PointProbe，FPP)、扩展电阻法(SpreadingResistanceProfiles，SRP)等研究了磷在硅中的扩散
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处理后,利用四探针法(Four-Poim Probe,FPP)、扩展电阻法(Spreading Resistance Profiles,SRP)等研究了磷在硅中的...
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利用四探针法
By using the four-probe method
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采用排水法测试试样密度，利用SEM和EDX分析微观结构和元素组成，采用四探针法测量电阻率。
Density of the fired specimens was determined. Microstructure and element composition were examined by SEM and EDX.
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