6．分离层技术（Sacrificial Layer Technology） 分离层技术也叫牺牲层技术。分离层技术是在硅基板上用化学气相沉积方法形成所需要的微型部件，部件周围的空隙上添入分离层材料（...
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层析分离技术 chromatography
分离层技术
Separate layer technique
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