分布式电子回旋共振(distributed electron cyclotron resonance)
...置在所述天线末端的区域中而且与其一起限定出电子回旋共振区域的磁体，在该电子回旋共振区域中可以通过分布式电子回旋共振(DECR)生成等离子体，以及至少一个具有膜前体气体或等离子体气体出口的进气单元，设置该出口以使气体朝向(如同此处限定的那样)从微波天...
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分布式电子回旋共振(distributed electron cyclotron resonance)
distributed electron cyclotron resonance
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