最近几年,很多学者通过采用分子动力学仿真(MolecularDynamic Simulation,MDS)或纳米压痕(Nano 下载全文 更多同类文献 CAJ格式全文 PDF格式全文 (如何获取全文？
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分子动力学仿真技术 Molecular dynamics simulation ; MDS
分子动力学仿真
Molecular dynamics simulation
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在此基础上，建立了以单晶硅为工件材料的分子动力学仿真三维模型，对不同深度下的加工过程进行分析研究。
Then, based on these theories, the three-dimensional model with using monocrystal silicon as the workpiece is built and the processes of different grinding deepness is studied.
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