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...电层的方法 公开说明书(17页) English version 前言： 一种形成介电层的方法，首先，进行一第一内部蒸气产生氧化反应(ISSG，In situ steam generation)程序，形成一第一氧化层于一基底上；然后，形成一氮化硅层于该第一氧化层上；接着，进行一第二内部蒸气...
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