【其利用类神经网络模型】

其利用类神经网络模型

Neural Network model

资料信息毫升光刻胶液。这种低量光刻...... 光刻误差的计算方法本发明提供一种光刻误差的计算方法，其利用类神经网络模型(Neural Network model，NN model)计算半导体光刻工艺中叠对(overlay)的误差值，将误差源设为多个由多个细胞元(cell)所构成的

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NN MODEL

...oetching error computing method] 本发明提供一种光刻误差的计算方法，其利用类神经网络模型(Neural Network model， NN model)计算半导体光刻工艺中叠对(overlay)的误差值，将误差源设为多个由多个细胞..

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其利用类神经网络模型

It uses a neural network model

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