Semi-Insulating Polycrystalline-Silicon
其中半绝缘掺氧多晶硅(Semi-Insulating Polycrystalline-Silicon,SIPOS)作为一种新的钝化技术,制备在器件衬底表面能有效的屏蔽外部电场,改善了厚SiO_2直接作钝化层时对Na...
基于4个网页-相关网页
...om豆丁网 象的研究 2009 SIPOS钝化的平面功率晶体管采用半绝缘掺氧多晶硅和二氧化硅的多层表面钝化技术。其中半绝缘掺氧多晶硅（Semi-Insulating Polycrystalline- Silicon，SIPOS）作为一种新的钝化技术，制备在器件衬底表面能有效的屏蔽外部电场，改善了厚S...
基于2个网页-相关网页